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重点讲解各种真空泵的故障处理
  • 发布日期:2019-04-01      浏览次数:37
    •   重点讲解各种真空泵的故障处理
        一、爪型干式真空泵
        正确掌握爪型干式真空泵维护保养的要求,可以减少因设备维护、保养不到位造成的设备故障。
        爪型干式真空泵维护保养程序:
        1操作注意事项
        (1)每次开机前检查设备及管道连接正常。
        (2)启动前,确认进排气管路无异物,先打开排气口管路阀门,防止憋压。
        (3)启动真空泵后,再打开进气口管路阀门,防止异物进入腔体,造成卡死
        (4)观察油位窗,检查润滑油保证充足
        (5)含粘稠物或粉尘的工况,需定期清理过滤网及泵腔,建议每次停泵前清洗
        (6)间歇性工况停机后,若开机不畅,需打开电机盖盘动电机轴5-10圈,或蒸汽吹蒸10分钟
        (7)抽出可凝性气体或环境湿度过大时,停泵前需通入适量干燥空气,清空泵腔
        (8)长期停泵,需关闭进气口阀门,启动真空泵20分钟后关闭排口,再停机,避免水汽进入
        (9)确保运行中循环冷却水水量、水温满足技术要求,如遇停水,请停泵;
        (10)环境温度低于零度时,停泵时保证循环冷却水流动,防止腔体冻裂
        (11)含可凝性气体工况,排气管道必须低于排气口,排空口向上,连接三通,下接回收罐,如右图所示。
        2润滑系统的维护
        (1)齿轮箱内加注润滑油的牌号应为32#或46#机械润滑油,初次运行每10个工作日需进行更换润滑油。以后每年将润滑油更换一次。每日定期对油位进行检查,要求油位保持在1/2—3/4之间,低于此标准需进行补加。
        (2)每个轴承盖内需加注≤5mL润滑脂,不宜过多,连续使用半年或间歇使用一年应更换润滑油。
        2离心机操作过程中的注意事项
        (1)每班定期检查各机械部位的紧固情况(螺丝螺母是否松动)、机械传动部位的润滑情况(是否润滑良好)。
        (2)通电后开机前,先检查刮刀位置。可在停机状态下,先按停止按钮,再按卸料按钮,此时刮刀旋转、复位,对刮刀动作情况进行检查。
        (3)每周定期检查控制柜及离心机保持良好接地。
        (4)进行刮刀操作,必须在主机稳定在刮料速后或转鼓完全停止状态下进行。
        (5)离心机在加料过程中发现异常剧烈振动,应立即关闭加料阀,待主机运行平稳后,再降至加料速缓慢进料,观察振动情况。
        (6)如离心机在加料运转过程中出现变频故障,主机自由降速(停机时间可能较长),此时应按故障复位按钮3秒后,放开故障复位按钮故障报警指示灯灭故障复位成功。此时可重新启动主机,观察变频器是否跳故障,如仍然存在故障报警现象,则检查转鼓外侧是否有余留母液(排液管道不畅),排液管道畅通后,重新启动主机升至分离速,充分排出母液。
        (7)离心机在分离升速过程中发现异常剧烈振动,应迅速按紧急制动按钮,主机开始降速,待主机停稳后,观察滤饼层是否有明显凹凸现象,如有此现象,则清空转鼓内物料,检查滤布是否有漏洞。
        (8)变频控制柜必须保持通风通气,环境温度保持在0℃—35℃之间,环境温度过高会影响变频器及柜内电气控制元件的使用寿命。定期清扫变频控制柜内的灰尘。
        (9)测氧仪每使用一年需进行校验。
        (10)离心机运行中,操作人员需及时观察故障报警灯是否有异常情况。
        二、水环式真空泵
        水环式真空泵常见故障
        一、真空泵度不够
        可能原因:电机供电不足导致转速不够;供水量不足;叶轮与分配板之间的间隙过大;机械密封破损导致漏水漏气;叶轮磨损过多;循环水排不出。
        排除方法:检查供电电压是否在电机额定的电压范围内;加大供水量(必须控制在正确的范围内,否则会导致电机超载发热);调小叶轮与分配板的间隙(一般在0.15—0.20mm);更换机械密封;更换叶轮;检查出水口的管路。
        二、启动不了或者启动了噪音大
        可能原因:电机供电电压不足;电机缺相运行;泵长时间没用导致锈蚀;泵内吸入杂物;叶轮拖分配板。
        排除方法:检查供电电压是否过低;检查电机接线是否都牢靠;如果泵长时间没用导致锈蚀的可以加点除锈剂或者打开泵盖人为去除锈迹;打开泵盖去除杂物;调节叶轮与分配板的距离。
        三、电机过热
        可能原因:供水量过大导致电机超载;电机缺相;排气孔堵塞;叶轮拖动其他部件。
        排除方法:减少供水量至正常范围(参照泵的使用说明书之供液量);检查接线是否牢固;检查排气口;打开泵盖调节叶轮与其他部件的间隙。
        四,流量不足
        可能原因:管路漏气漏液;阻力损失增加;
        排除方法:检查连接处机械密封;检查管路及止回阀等有无故障。
        水环式真空泵日常维护:
        (1)在正常的工作中要注意检查轴承的工作和润滑情况,其温度(轴承和外圆处)比环境温度一般高出15℃~20℃为宜,高不允许超过30℃~35℃,即轴承架外圆处实际温度不应超过55℃~60℃;正常工作的轴承每年应加油3~4次,每年至少清洗轴承一次,并将润滑油全部更换。
        (2)在正常工作中还要定期压紧填料,如果填料因磨损而不能保证所需要的密封性能时,应更换新填料。如果采用机械密封,发现泄漏现象,应检查机械密封的动静环是否已损坏或是辅助密封老化,如出现上述情况,均需要更换新零件。
        (3)在出现特殊声音时,可拆下两端盖上的压板,查看叶轮两端面是否与分配器研伤,还可检查排气阀板是否正常。
        水环真空泵其他故障描述
        1真空泵机械密封泄露起因
       、、机械密封拆卸不当
        更替非能源端机封时,组装内中中发现动环上的密封O型圈没有装置好。O型垫圈本应装到动环座上的密封槽外面,而组装审查发现O型圈没有如此装置,而是错装于绷簧定位片外面,以致绷簧变形,彻底起不到轴向静密封的作用,以致泄露。
       、、机封结冰水压力过大
        机封动静环密书皮的贴合力是由动环上的绷簧强加的。当结冰水压力过大时,水压会作用在动静环上,因为静环是生动不动的,因而水压会激发动环,向静环相同的位置压缩绷簧,从而减弱或者对消动静环面的贴合力,招致密书皮泄露。检修结束后给能源端机封通进结冰水试漏,进水阀翻开2/3以次,机封完整无漏,当水阀翻开胜于2/3之上时,机封涌现渗漏。三方(检修方、氧化铁机动科、四川大宇机封打造厂)初步断定是因为水压过大的起因造成的,提议待电机培修完后开机运行运用,进一步追踪查明其渗漏的真正起因。
       、、动静环密书皮破裂
        这是造成前多少次更替该泵机封泄露的重要起因。
        能源端和非能源端机封是拆卸于同一轴上的,叶轮装置在轴的旁边,轴的两端装置轴承支持生动。当共同更替能源端或非能源端机封时,相应端的轴承(轴承座)务必先组装下来能力存入旧机封,装上新机封,而此时所以轴和叶轮重力,失掉一端轴承支持的叶轮和轴管保往下塌,轴往无轴承端歪斜。因为未拆一端的静环是用螺栓在泵端盖上生动不动的,而动环是生动在轴上与轴一起缭绕,另外因为静环内圈与轴配合间隙很。?敝嵯滤?嵝笔,会造成:a、未拆一端的动静环绝对位移,从而使动静环密书皮相互野鸡挤压,导致碎裂;b、轴间接压在未拆端静环内圈上,造成静环密书皮断裂或者破碎。
        经过对前多少次更替作业的理解综合,以致一端更替好而另一端的机封就泄露的起因都是上述成分导致的。咱们的作业人员实则也已思忖到了某个问题,只是采取的步骤不对罢了:前多少次更替都是运用笋瓜吊住拆装端的轴来预防轴的高低左右摆动,理论操作中证实这种吊装步骤是存在很大的失误的,尤其不实用于该类重型的真空泵机封装置。起因是吊点、笋瓜的张力难以彻底掌握好,很难防止轴的高低左右摆动。
        2真空泵盘车困苦起因
       、、泵两端定位轴承间隙没有调整好。
        该泵两端的轴承都是采纳双列圆锥滚子轴承,双列圆锥滚子轴承两列内圈与外圈是锥面接触,内圈是能够从外圈中结合取进去的。两列内圈之间有一个轴承间隙调整隔环,也就是轴承的原始游隙是靠两列内圈之间的隔环来掌握的,正常轴承出厂时其间隙就曾经调整好。
        轴承拆卸在轴上,两列内圈中的一列顶在轴肩上,另一列靠锁紧背帽锁紧在轴上,锁紧后,两列内圈和隔环无须是严密的连在一起随着轴一起转动,外圈与轴承箱紧配合不动。那末间隙调整隔环薄厚小于原始薄厚时,当锁紧背帽后,两列内圈与外圈产生无比规受力挤压,从而使轴承转动困苦或者无奈转动。
       、、轴承内圈没装置到位
        轴承内圈没有装置到位也会产生下面1)所述问题,起因是里外圈绝对轴向前后错位,造成两列内圈中的其中一列与外圈无比规受力挤压。拆下能源端轴承时发现装置轴承地位的轴面上有很大的吃痕,综合断定轴承内圈没有彻底顶到轴肩上,这是导致此次盘车困苦的重要起因。
       、、叶轮与泵两端面的间隙没调整好
        水环式真空泵叶轮与泵体两端面的间隙是靠挪动两端轴承座来调整的。调整步骤是在轴承座与装置该轴承座的支架定位面之间加减垫片。
       、、机封动静环密书皮破裂后相互卡帮。
        水环真空泵保养与日常维护
        1.水环真空泵保养
       。?)应该常注意油位及油的洁净程度,新泵工作150小时换油一次,以后每2-3月换油一次。如果使用条件不好,真空下降时,可缩短换油时间。
       。?)应保持泵及泵房的干燥清洁。
       。?)经常注意冷却水和油的温度,高不得超过85℃,冷却水进水温度不超过30℃,出水温度不超过5℃,且保持水质清洁。
        2.日常保养中注意事项
       。?)定期检查水环真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动水环真空泵,试看水环真空泵是否灵活。
       。?)向轴承体内加入轴承润滑机油,观察油位应在油标的中心线处,润滑油应及时更换或补充。
       。?)拧下水环真空泵泵体的引水螺塞,灌注引水(或引浆)。
       。?)关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。
       。?)点动电机,试看电机转向是否正确。
       。?)开动电机,当水环真空泵正常运转后,打开出口压力表和进口水环真空泵,视其显示出适当压力后,逐渐打开闸阀,同时检查电机负荷情况。
       。?)尽量控制水环真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证水环真空泵在高效率点运转,才能获得大的节能效果。
       。?)水环真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,高温度不得超过80C。
       。?)如发现水环真空泵有异常声音应立即停车检查原因。
       。?0)水环真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。
       。?1)水环真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。
       。?2)经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。
       。?3)定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。
       。?4)水环真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
       。?5)水环真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保存。
        三、干式螺杆真空泵
        干式螺杆真空泵的操作方法
        1开机前的检查与准备
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       、谠诓煌?臀皇泳荡?觳橛臀,确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处;
       、奂觳槿啡险婵栈?楦鞲龇?诺淖刺?狐/div>
        a、工艺入口阀关闭
        b、入口过滤器排污阀关闭?
        c、出口管线畅通,出口管排污阀打开
        d、冷却水入口管线和出口管线阀门打开
        e、氮气线阀门打开,吹扫气压力为0.5bar,氮封气压力为3bar,吹扫阀关闭
        干式螺杆真空泵的开机操作步骤
        1、现场与中控联系,确认可以启动,通过现场操作柱启动按钮启动真空泵;
        2、关闭出口管排污阀;
        3、检查或调节氮封气流量,确认流量在2.5——3L/min;
        4、打开吹扫阀,确认流量计流量调至大,吹扫5——10分钟后,关闭吹扫阀;
        5、打开工艺入口阀,切入系统;
        6、真空泵运转过程中,注意观察机体温度,可通过温度调节阀调节水量来控制温度(温度调节阀位于0刻度时水量大,位于5刻度时水量。,要求温度尽量控制在50——75℃,确保不超过80℃。
        螺杆真空泵的停机操作步骤
        1、关闭工艺入口阀,切出系统;
        2、打开吹扫阀,吹扫20——40分钟后,关闭吹扫阀;
        3、通过现场操作柱停止按钮停机;
        4、关闭氮气阀门;
        5、关闭冷却水阀门;如冬季长期不用,需排净机体及管线内的冷却水以防冻;
        6、打开出口管排污阀和入口过滤器排污阀,检查是否有冷凝液。
        干式螺杆真空泵常见故障及处理方法
        干式螺杆真空泵安装注意事项
        1).螺杆泵在初次启动前,应对集泥池、进泥管线等进行清理,以防止在施工落下的石块、水泥块及其他金属物品进入破碎机或泵内.平时启启动前应打开进出口阀门并确认管道通畅后方可动作,对正在运转的泵在中应主要注意其螺栓是否有松动、机泵及管线的振动是否超标、填料部位滴水中否在正常范围、轴承及减速机温度是否过高、各运转部位是否有异常声响.
        2).作为螺杆泵,它所输送的介质在泵中还起对转子的冷却及润滑作用,因此是不允许空转的,否则会因磨擦和发热损坏定子及转子.在泵初次使用之前应向泵的吸入端注入流体介质或者润滑液,如甘油的水溶液或者稀释的水玻璃、洗涤剂等等,以防初期启动时泵处于磨擦状态.在污水处理行业有时会发生污泥或者浮渣中的大块杂质(如包装袋等)将吸入管道堵塞的情况,应昼避免这各种现象的出现.如不慎发生此类情况应立即停泵清理,以保护泵的的安全运行.
        3).泵和电机安装的轴度精确与否,是泵地否平衡运转的首要条件.虽然泵在出厂前均经过精确的调定,但底座安装固定不当会导致底座扭曲,引起同轴度的超差.因此在首次运转前,或在大修后应校验其同轴度.
        4).基座螺栓及泵上各处的螺栓.在运行过程中,基座螺栓的松动会造成机体的振动、泵体移动、管线破裂等现象.因此对基座螺栓的经常紧固是十分必要的,对泵体上各处的螺栓也应如此.在工作中应经常检查电机与减速机之间、减速机与吸入腔之间以及吸入腔与定子之间的螺栓是否牢固
        四、往复式真空泵
        往复泵在使用中应注意的问题
        1、使用场所要清洁,环境10~30OC为宜;
        2、只能用于抽清洁干燥的空气,不能抽潮湿及有腐蚀性的气体,若抽后面这类气体时,泵的入口应安装冷凝器,以防损坏真空泵;
        3、冬季若环境温度低于0℃时,在停泵后需将泵的冷却水套中的水放净,以防冻裂;
        4、泵运转1000h后;需检查泵的易磨损件,如活塞、活塞环、偏心圈、十字头等,发现损坏,及时更换。
        往复式真空泵使用过程中常见故障及其消除方法
        往复式真空泵的日常维护要求
        往复式真空泵是一种活塞式往复泵,因为具有抽气量大、真空度较高,所以使用于食品、化工等行业,但因为材质有限,往复泵不可以抽含有腐蚀性的气体。所以,在使用过程中要求使用者要按照规定的要求来操作,注意内容如下:
        (1)设备周围环境应保持清洁、干燥,通风良好。
        (2)检查冷却水路是否畅通。
        (3)检查往复真空泵各润滑部位的润滑油是否符合规定。
        (4)每班必须检查各部紧固螺栓,不得有松动现象,并进行必要的紧固。
        (5)经常检查真空罐中的液位是否正常有效。
        (6)随时检查真空表、电流表的读数是否正常。
        (7)随时注意观察设备运转有无异常声响或振动,必要时可报告有关部门进行状态。
        (8)操作人员必须严格按往复泵《操作规程》进行操作,巡回检查发现问题必须及时处理。
        往复式机械真空泵的检修与往复式压缩机大同小异。往复式真空泵是一种干式真空泵。所以操作时必须采取有效措施。以防所抽吸气体,带有液体,否则可能会造成严重的设备事故。
        往复式真空泵开车后,应逐渐关闭三通阀门,使泵的进气管与被抽容器逐渐接通:当泵达到极限真空时,检查电机电流负荷应稳定。
        泵在正常运转中,各部位都应得到必要的良好润滑;冷却水的进出口温差约为50C,高水温不超过400C。泵停车时,应先关闭进气阀门。切断电源;关闭油杯针阀。停车10min后关闭冷却水;当室温低于0℃时,必须放净冷却水。以免冻坏汽缸。
        要经常检查V带的松紧程度和冷却水是否有渗漏,如有异常应及时处理。检查轴承、偏心圈、十字头等部位。如有过热或严重磨损等。应及时进行检修。检查活塞杆、气阀杆的密封圈。如有泄漏应及时更换。
        五、水喷射式泵常见故障
        水喷射式真空泵操作规程
        1运行前的检查
        1.首先检查各坚固件是否固定可靠?2.?检查电机旋转方向是否正确?
        2操作过程
        1.关闭水箱的排水阀
        2.打开进水阀,将水箱加水至三分之二为宜
        3.点击启动按钮,真空泵开始工作
        4.关闭放空阀,真空度逐渐上升至-0.098MPa,再打开进系统阀门,真空机正常运转。
        5.工作结束,停机前先放空,然后停机,以防真空度过高,倒吸损坏止回阀。
        3操作注意事项
        1.不准用湿手触动电源开关
        2.水喷射泵严禁反转
        3.运行过程中水温不能过高,否则影响排气和真空度,需及时更换或补充水。
        4.运行中,若出现异常响声或真空度达不到要求时,应停机检查。
        4异常情况处理
        1.运行中振动或噪音过大,查看联轴器有无偏心现象,如有应及时校正。
        2.运行中无真空度或真空度低,查看泵的吸入口有无异物堵塞,如有应及进清除。
        水喷射泵常见故障及排除方法
        不同用途的水喷射泵可能会出现不同的故障,需要合找出具体原因予以解决。这里介绍的只是水喷射泵常见的故障及解决办法。
        水喷射泵“返水”
        所谓“返水”是指工作介质水.不能全部经扩压管流入贮水箱.而是有一些水从喷嘴喷出以后返流入被抽真空的容器。
        造成“返水”的原因可分两类:新泵“返水”和旧泵返水。新泵“返水”主要原因是设计、加工或装配的问题。例如.扩压器喉部直径过。?春聿拷孛婊?肱缱斐隹诮孛婊?戎倒?狖喷嘴加工精度太低,水从喷嘴喷出之后有少址不能定向喷走;安装时喷嘴与扩压器不同心;循环水泵压力头偏低,从喷嘴喷出的水流速过慢等。如果新泵一切正常,使用过一段时间之后出现“返水”现象的原因可能有:设备和管道密封不严。如密封垫老化、破损、管子破裂、螺栓松动等:喷嘴磨损严重,尺寸改变;扩压器喉部堵塞;水泵压头不稳等。
        找出故障原因之后.排除故障的方法即迎刃而解了。例如:新泵安装时检查尺寸、加工精度,进行气密性测试,及时调整;旧泵加强检查与维护.做到及时消除故障。
        真空度下降
        造成真空度下降的主要原因有:喷嘴或扩压器喉部磨损太大;设备或管道有泄露之处;喷射泵水温太高,造成水的饱和压力偏高;被抽空间中的物料负荷过大.以至于产生的气体不能及时抽除。
        排除故障的方法主要有:更换喷嘴或扩压器;检查泄翻处予以消除。加大冷却水城.降低水滋。减小处理物料的负荷,降低水喷射泵的抽气负荷.
        真空度不稳
        造成真空度不稳的主要原因有:被抽空间中物料放气址随时间变化,不稳定均匀;喷嘴、管道或扩压器有随机性堵塞;喷射泵下端尾管插入贮水箱内水的深度不稳,大气中的空气有时从尾管水封处翻入;水泵的电压不稳;水泵叶轮松动;设备振动严重等。
        排除故障的方法主要有:控制进料量和能引起物料放气量变化的参效;查找原因、清除随机性堵塞、保证贮水箱中的水,完善水封装置;找出供电电压不稳,泵叶轮松动或设备振动的原因,设法消除。
        六、旋片式真空泵
        旋片式真空泵操作时的注意事项
        旋片式真空泵的转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片,当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,此旋片随转子一起旋转,可将真空泵腔分成几个可变容积。在操作旋片式真空泵时要注意如下事项:
        1、查看油位,以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起封油作用,影响真空度。过高,会引起通大气启动时喷油。运转时,油位有所升高,属于正常现象。油采用规定牌号的清洁真空泵油,从注油孔加入。加油完毕后,应旋上螺塞。油宜经过滤,以免杂物进入,堵塞油孔。
        2、泵可在通大气或任何真空度下一次启动,泵口如装接电磁阀,应与泵同时操作。
        3、环境温度过高时,油的温度升高,粘度下降,饱和蒸汽压会增大,会引起极限真空有所下降,特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热,或改善泵油性能,极限真空可得到改善。
        4、检查真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准,如计经充分预抽效验,泵温达到稳定,泵口与计直接接通,运转30分钟内,将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关,有时误差甚至可能很大,只能作参考。
        5、如相对湿度较高,或被抽气体含较多可凝性蒸汽,接通被抽容器后,宜打开气镇阀,运动20~40分钟后关闭气镇阀。停泵前,可开气镇阀空载运动30分钟,以延长泵油寿命。
        旋片式真空泵故障处理的方法
        运转中的旋片式真空泵,如果操作不当,往往会出现故障,譬如旋片式真空泵真空度下降,喷油、冒烟、油封处漏油,噪音等情况,和泵内的真空泵油乳化等现象。万一出现这种情况,首先不用恐慌,等停机以后根据故障一一排除。这里介绍几个排除故障的方法。
        一、旋片式真空泵冒烟和喷油:指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油。
        故障1、冒烟,如果是泵刚刚开始运转有冒烟的现象,那属于正常现象。如果长时间在冒烟就是不正常了。
        排除方法:冒烟说明泵的进气口外,包括管道、阀门、容器有需要修理的情况主要是指漏气导致。检查漏的地方并处理后,冒烟会结束。
        故障2、喷油,说明进气口外有大量的漏点,甚至是进气口暴露大气。
        排除方法:封住泵的进气口使泵运转,如果不喷油的话,说明有漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片是否有损坏,更换上新的排气阀片。
        二、旋片式真空泵噪音:这里指泵的噪音。
        故障1、敲缸,旋片泵运行时发出不规律的声响,好像金属击打金属的声音。这是旋片在击打泵体发出的声音。这种情况是配对旋片间的弹簧断或者收缩或弹出失效造成的。
        排除方法:拆开泵体检查旋片弹簧是否损坏。更换好的弹簧。
        故障2、排气阀片噪音,主要是泵的排气阀片破损。
        排除方法:更换好的排气阀片。
        三、旋片式真空泵真空度下降:指当下测得的旋片式真空泵真空度比出厂指标或者以前使用时的真空度低。引起真空度低的原因有很多,这里介绍几种主要的情况。
        故障1、这次加的真空泵油牌号和原来的不一样。不同牌号的真空泵油,由于饱和蒸汽压不一样,其结果也会不一样。
        排除方法:根据产品的型号选用正确的真空泵油。
        故障2、被抽气体中水蒸气和杂质含量太高导致真空泵油乳化变色或者过脏。
        排除方法:放掉泵内的真空泵油,换上同类型的泵油,并设置过滤保证被抽气体中水蒸气和杂质不进入泵内。
        故障3、被抽气体的温度可能过高。
        排除方法:降低被抽气体的温度,或加一个相应的换热器。
        故障4、泵内的油路不通或者不顺畅,泵腔内没有保持一定量的油量。
        排除方法:查看油路是否畅通,并添加同类型的真空泵油。
        故障5、内部件配合的间隙变大。这是长期被抽气体内含有粉尘等,造成旋片和定子之间磨损后的间隙增大。
        排除方法:查看间隙是否过大,更换新的零部件。
        七、滑阀式真空泵
        滑阀泵的常见故障与消除方法
        1、真空度不高:
       。?)泵有外漏。
       。?)油盒小孔有吸力,出现油雾:清洗虑油器,查油管、油泵。
       。?)泵油污染:开气镇阀运行1-2小时或更长,或换新油。
       。?)油量不足,油位太低:加油。
       。?)油温过高:加大水量,降低环境温度和吸入气体温度,消除咬合、润滑不良。
       。?)排气阀片损坏:换阀片。
       。?)排气阀弹簧损坏:换新。
       。?)泵内零件磨损,有异声,功率异常:拆检修理各转动零部件。
        2、漏油:查轴封,各密封部位,调整或换新。
        3、噪声:异常噪声:查有否异物落入泵腔,轴承、泵传动件有无损坏。清除、修整、换新。
        4、喷油:有油大量喷出:检查油位是否太高,如太高,放出;挡油罩组件,防喷油部件等是否完好。
        5、振动:振动很大:查底座是否垫实、紧固、基础是否足够。有否咬合、卡住的前期迹象,调整。
        6、泵温异常轴承发热:稍松皮带,查油路是否畅通,冷却水够否。油箱发热,排气阀过热:降低入口压力,加大冷却水量。
        7、咬合卡死:查有否异物落入,零件完好否,润滑是否足够,油量、油路、油泵。
        8、电机电流过大或保险丝烧断:检查电流过大原因,查保险丝容量,调整、换新。
        滑阀泵的维修
        1、滑阀泵拆泵的程序
        1)放出冷却水和泵油,拆下皮带防护罩,卸下三角带和皮带轮;
        2)拆油箱组件,拆分离器组件,拆滤油器组件,拆排气管,拆排气阀组件,拆进气管;
        3)拆油管、油泵和油泵轴;
        4)拆密封装置和轴承盖,拆左右两端盖及轴承,拆滑阀组件及导轨组件;
        5)拆偏心轮、平键及轴。
        2、装泵的注意事项
        1)不能直接用铁锤敲打加工面,拆装时防止碰伤;
        2)零件装配前清洗干净并烘干;
        3)泵装好后密封处不得漏气、漏油。
        4)泵修目完应进行全性能的试验,如其他条件不具备,至少应试验极限真空度。
        八、罗茨真空泵
        一、罗茨真空泵安装
       。?)、罗茨真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所。
        (2)、罗茨真空泵的环境温度为5-40℃。
       。?)、罗茨真空泵应水平安装,其周围应留有充分的余地,便于日常检查、维护保养。装拆方便。
       。?)、接通电源后,电机转向应符合泵上转向箭头所示。
       。?)、连接被抽容器的管道应清洁.无杂质等异物,孔径不应小于泵口口径,长度宜短,以保证其有足够的通导能力,管道连接应密封不漏。
       。?)被抽气体应无颗粒状固体进入泵腔。
       。?)、罗茨真空泵与前级泵连接应装弹性管以减少前级泵引起的震动。
       。?)、电气设备必须有互锁保护装置,当前级泵停止工作时罗茨泵必须同时停止。
       。?)、小泵可以直接启动,大泵须设启动器。
        罗茨真空泵使用说明:
        新泵就位后先查看油位,齿轮侧油位以油面浸没3-5齿为宜,电机侧以油窗中心略高为宜,轴伸上油杯不应缺油,各部位润滑油均采用1号真空泵油。
        1、罗茨真空泵启动程序:
       。?)、启动前级泵。
       。?)、打开前级泵预抽官路商的阀门和罗茨泵进气口上的阀门。
       。?)、待系统内的压力达到罗茨真空泵的允许压力后,关闭预抽阀门,起动罗茨真空泵,如无预抽管路及阀门,则待达到起动压力后起动罗茨真空泵,此过程亦可采用压力传感器自动控制,实现整个过程的自动化。
       。?)根据真空系统的实际情况,如果不是大的真空系统,则起动前级泵后即可起动罗茨真空泵。如果是较大的真空系统,虽然带溢流阀的罗茨真空泵具有过载保护作用,但这种保护只是对电机的保护,罗茨泵本身仍可因为长时间工作在高压力下,而产生过热卡死,应待前级泵抽到一定压力后再起动罗茨泵。
        2、罗茨真空泵停车程序:
       。?)、关闭罗茨真空泵进气阀。
       。?)、从上到下逐级停罗茨真空泵,后停前级泵,严禁搞错停车程序。
       。?)、前级泵停车后,立即向前级泵进气口放气。
        3、罗茨真空泵运转中的注意点:
       。?)、运转中必须按照罗茨真空泵的技术规格使用,在正常情况下,罗茨真空泵的入口压力在1330Pa以下,泵的大压差不得高于其大允许压差值。
        (2)、注意电动机负荷和泵的各部位温升,在正常运转情况下,泵的高温升不得超过40℃,高温度不得超过80℃。如果选用水环泵作为前级泵时,有时因两泵抽速配比比较大时,可能使罗茨泵的温升有所提高,但泵的高温度不得超过100℃。
       。?)、运转中不应有不规则的异常振动和异常噪声。
       。?)、如发现在运转中有电机过载,温升过高,声音异常,振动大等情时况,应立即停机检查原因,排除故障。
        罗茨真空泵的保养:
       。?)、每天对油位进行检查,油位过高,使温度升高,油位过低,造成润滑不良。每月检查油的品质,如果变质须马上更换。
       。?)、每天检查泵的温升,电机负荷及温升。
       。?)、定期检查罗茨泵的轴承、油封、齿轮等部件,如有损坏应予更换。
        罗茨真空泵的故障及排除方法:
        1故障现象:泵的抽气量不够
        产生原因;
        (1)真空泵的转速不够;
        (2)密封不严,在进气管路的连接处或轴封处漏气;
        (3)泵的转子与转子、转子外圆与泵壳,转子端面与端盖周的间隙过大,气体返流量增大;
        (4)环境温度或冷却水的温度过高。
        排除方法:
        (1)如泵的转速不够,且抽气量是与泵的转速成正比,则泵的抽气量就会下降。这有两种情况;一种情况是泵的转速未配备好,也就是皮带轮的直径不合适,可更换皮带轮,改变皮带轮的直径;另一种情况可能是皮带安装不当、未张紧,皮带打滑而降低了转速,这可调节电机位置,使皮带张到一定紧度。
        (2)查明何处漏气,如是连接法兰处漏气,则可能是由于连接螺钉松动,垫圈压破变质或者是法兰面加工不平;如是在轴封处漏气,则有可能是密封皮碗未装正或破裂,此时则更换皮碗并装正;若是填料密封的,可将扎进的填料掏出,更换新的,但填料的接口必须是斜面而互相搭接服贴,第一圈的接口必须与第二圈的接口错开,不能在同一位置上。
        (3)若转子与转子型面间的间隙不均匀,在转圈中处间隙大,另一处间隙。?庥捎谠谧芭涫蓖?匠萋值哪龊献纯鑫吹髡?,则这对同步齿轮之一的齿轮作轮毂固定,另一个齿轮的轮毂做成可以调节的,因为两转子的外型是共轭曲面,要互相正常啮合。与此同时,外端的传动齿轮(同步齿轮)也要处于正常啮合状态,这样辐子才能正常传动。否则,即使能转动,也可能出现在转冠中,两转子间的间隙时大时小。
        在这种状态下,将可调齿轮连接轮毂的螺钉拧松并拔出定位销钉,进行调节,便转子的啮合和齿轮的啮合同时达到正常啮合状态,这时各处间隙就均匀了,重新拧紧螺钉,重铰销钉孔并装上销钉定位。倘如转子外径与泵壳的间隙某处过大,则可拧松端盖与泵壳的连接螺钉,拔出定位销,进行调节,待各处间隙都均匀了,再拧紧螺钉,重铰端盖与泵壳的定位销孔并装上锥销。
        (4)环境温度升高则抽气量就会降低,针对这种情况,尽量将注入水温降低。
        2故障现象:真空度不够高
        产生原因:
        (1)进气系统密封不严,有漏气现象;
        (2)泵本身密封不严,在轴封处漏气;
        (3)转子与转子或转子与壳体的间隙过大,空气温度过高:
        (4)泵的进出口气体介质的压力差过大。
        排除方法:
        解决前3种故障的办法与前述方法相同。其中,空气温度过高,会降低真空度,如果是湿式泵则可在进气口处注入冷水,如果是干式泵则在出气口加冷却器,降低空气温度。对(4)款压差过大的原因甚多,如是干式泵需检查安全阀(溢流阀)是否失灵,如失灵出气压力可能偏高,如是湿式泵则可能是出口水封压力过高或者是出口管径过小、弯头太多而增加了出口阻力所致,针对实际情况予以排除。
        3故障现象:停车后泵再启动困难
        产生原因:
        有时泵在连续运行时,未发现有什么不正常的现象发生,一旦在短暂的时间内停止运转,再启动就感到困难,甚至不能启动,这种现象的发生,如是湿式泵,则可能有下列原因:
        (1)泵壳内壁和转于外表面水垢积沉太厚,将间隙堵死了;
        (2)在安装或更换进气管道时,未很好将管内清洗干净,致使焊渣或其它硬杂物带进了泵内;
        (3)转子发生串位,转于端部与端盖发生了摩擦而增大了阻力;
        (4)转子轴弯曲,转子或同步齿轮咬死。
        排除方法:
        (1)进入泵的冷却水,有的是未经过处理的硬水,钙质太重而在泵内产生沉积,尤其是未经处理的硬水又在泵内处于50-60℃温度下工作,就更容易沉积而成为水垢堵塞了泵的间隙。解决的办法有二:一为机械法,就是用铲刀或刮刀把水垢铲除,另一办法是采用化学的方法,可用浓度为5%~10%的盐酸。其中,用化学法清除垢结束后,须用蒸汽和水进行洗涤,以免设备被腐蚀。为了避免产生严重的结垢现象,冷却水应该是经过处理的温度在20℃以下的清洁冷水;
        (2)在装管子之前,一定要将管内清理干净,在有条件的场合,先将管内壁通擦干净,而后用压缩空气吹洗;
        (3)取出转子重新装配,并查明原因何在,针对具体情况而予以适当处理;
        (4)将转子从泵壳中取出,并将其放在两个平行而等高的刀口上或与此类似的支架上,用千分表检查转子轴是否有弯曲和弯曲度的大小和方向,如弯曲度小则用压力机矫直,如弯曲度大则需更换。
        4故障现象:泵在运转时噪声增大
        产生原因:
        (1)转子与转子或转子与壳体之间舱间隙不均匀或不合适而发生了摩擦,在这种情况下噪声则可剧烈增加;
        (2)同步齿轮啮合不好,或齿间间隙过大,或者是齿轮箱内缺乏润滑油,齿与齿处于干摩擦状态,这时齿箱内的噪声也会剧烈增加:
        (3)泵的转速过高,工作介质(空气和水)在泵腔内和稳压箱中产生剧烈的碰撞,甚至泵还发生振动,当然噪声也就增大了。
        排除方法:
        要仔细分析查听,找出噪声发源于何处,然后查出产生噪声的原因,随之降低噪声的办法也是有的。
        (1)如果转子与转子或转子与泵壳发生摩擦而产生噪声,这是完全可以测听出来的,按照前面所述的调节转子间隙的方法进行仔细调整,使其各个间隙都符合要求:
        (2)将同步齿轮中的一个,即轮毂是镶上去的那个齿轮的轮毂连结螺钉拧松,并拔出定位销,转动齿圈,使其啮合正常。按规定在齿轮箱内加足润滑油,克服干摩擦现象,噪声自然就降低了;
        (3)如果转速确实过高,则可更换皮带轮而降低转速,或同时在稳压箱的出口侧添加一个消声器。
        九、扩散泵常见故障
        扩散泵故障
        其实扩散泵容易出现故障的就那么几个地方:中位时排油量不为零、振动和噪声的出现、液压泵输出流量不足或不输出油液、泵的输出流量波动、.泵的输出压力异常以及液压泵过热,接下来小七为大家介绍扩散泵的常见故障及处理方法
        1中位时排油量不为零:
        变量式轴向扩散泵的斜盘倾角为零时称为中位,此时液压泵的输出流量应为零。但有时会出现中位偏离调整机构中点的现象,在中点时仍有流量输出。其原因是控制器的位置偏离、松动或损伤,需要重新调零、紧固或更换。泵的角度维持力不够、倾斜角耳轴磨损也会产生这种现象。
        2振动和噪声:
        振动和噪声是同时出现的。它们不仅对机器的操作者造成:,也对环境造成污染。
        a.管道内液流产生的噪声:进油管道太细、进油滤油器通流能力过小或堵塞、进油管吸入空气、油液豁度过高、油面过低吸油不足和高压管道中产生液击等,均会产生噪声。因此,必须正确设计油箱,正确选择滤油器、油管和方向阀。
        b.机械振动和噪声:如泵轴和电机轴不同心或顶死,旋转轴的轴承、联轴节损伤,弹性垫破损和装配螺栓松动均会产生噪声。对于高速运转或传输大能量的泵,要定期检查,记录各部件的振幅、频率和噪声。如泵的转动频率与压力阀的固有频率相同时,将会引起共振,可改变泵的转速以消除共振。
        3液压泵输出流量不足或不输出油液
        泄漏量过大。原因是泵的间隙过大,密封不良造成。如配油盘被金属碎片、铁屑等划伤,端面漏油;变量机构中的单向阀密封面配合不好,泵体和配油盘的支承面有砂眼或研痕等。可以通过检查泵体内液压油中混杂的异物判别泵被损坏的部位。吸入量不足。原因是吸油管路上的阻力过大或补油量不足。如泵的转速过大,油箱中液面过低,进油管漏气,滤油器堵塞等。倾斜盘倾角太。?玫呐帕可,这需要调节变量活塞,增加斜盘倾角。
        4输出流量波动:
        输出流量波动与很多因素有关。对变量泵可以认为是变量机构的控制不佳造成,如异物进入变量机构,在控制活塞上划出阶痕、磨痕、伤痕等,造成控制活塞运动不稳定。由于放大器能量不足或零件损坏、含有弹簧的控制活塞的阻尼器效能差,都会造成控制活塞运动不稳定。流量不稳定又往往伴随着压力波动。这类故障一般要拆开液压泵,更换受损零部件,加大阻尼,提高弹簧刚度和控制压力等。
        5输出压力异常:
        泵的输出压力是由负载决定的,与输入转矩近似成正比。输出压力异常有两种故障。
        a.输出压力过高:若回路负载持续上升,泵的压力也持续上升,当属正常。若负载一定,泵的压力超过负载所需压力值,则应检查泵以外的液压元件,如方向阀、压力阀、传动装置和回油管道。若大压力过高,应调整溢流阀。
        b.输出压力过低:当泵在自吸状态下,若进油管路漏气或系统中液压缸、单向阀、换向阀等有较大的泄漏,均会使压力升不上去。这需要找出漏气处,紧固、更换密封件,即可提高压力。溢流阀有故障或调整压力低,系统压力也上不去,应重新调整压力或检修溢流阀。如果液压泵的缸体与配流盘产生偏差造成大量泄漏,严重时,缸体可能破裂,则应重新研磨配合面或更换液压泵。
        6液压泵过热:
        液压泵过度发热有两个原因,一是机械摩擦生热。由于运动表面处于干摩擦或半干摩擦状态,运动部件相互摩擦生热。二是液体摩擦生热。高压油通过各种缝隙泄漏到低压腔,大量的液压能损失转为热能。所以正确选择运动部件之间的间隙、油箱容积和冷却器,可以杜绝泵的过度发热和油温过高的现象
        十、分子泵
        分子泵故障:
        1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?
        原因:附近有光照或其他热源
        解决方法:避免光照或热源
        2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?
        原因:冷却不良,负载太大
        解决方法:检查冷却系统,检查真空系统
        3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?
        原因:负载太大,系统真空度不够
        解决方法:检查系统
        4、分子泵轴承为什么会烧毁
        原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘
        解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
        5、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
        原因:防护网破裂,前级管道破裂
        解决方法:优化系统设计
        6、真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
        原因:油池破裂或密封不良
        解决方法:检查油池
        7、正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
        原因:过热,负载大
        解决措施:检查冷却系,检查系统
        8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?
        原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
        解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
        9、胶圈口分子泵要用多少卡钳,使用才安全?
        答:不作特殊限定,至少3个,按照法兰大小可选3、6、12、24等
        10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?
        答:①电压不稳②强干扰③高压打火④认为解密
        11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?
        答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要专用仪器和特定的测试环境
        12、分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
        答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
        13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是佳方式?
        答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
        14、变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?
        答:原因:电压低
        15、分子泵叶片破碎的原因:
        答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:
       、、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的。?绻?镀?牟闹时冉媳』蛘弑冉先,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。
       、、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免异物掉入。
       、、电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。
       、、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。
       、、、分子泵保养时的动平衡没有做好,这是技术的关键,动平衡差,振动就大,抽气效率就差,也容易造成轴承部分的过度磨损。
       、、轴承部分没有使用原厂的标准轴承,效果和尺寸不标准等。
        分子泵使用过程出现的问题
        8总体安装注意事项
       、、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。
       、、打开泵高真空端法兰盖板,戴好手套,拨动涡轮转子,应转动灵活,无异常现象。
       、、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。
       、、确认防护网已安装,特殊情况下定做特殊防护网。
       、、确认已装入润滑油。
       、、安装方向:油绳润滑:竖直、水平;
        油润滑:竖直方向±5°范围内;
        脂润滑:任意角度
        2油池安装注意事项
       、、拆下注油
       、、油量控制
       、、油池卫生,防颗粒
       、、对好、对称上紧螺钉,防止有漏
        3进出口法兰、冷却水安装
       、、泵入口:对正、对称拧紧
       、、泵出口:防止错位
       、、冷却水:无漏水;入口水压0.2MPa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀
        注意:
        环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃
        入口压强:强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa
        三、电缆安装注意事项
       、、对正槽口插入
       、、用螺母拧紧,边插边拧
       、、检查到位
        5振动隔离、冲击防护
        1分子泵振动极。?芍苯咏佑诒怀橄低。
        对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),建议使用隔振器,以便大可能的减少振动。
        2冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑
        机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)
        气体振动(气量突变、压强突变)
        意外振动(掉入异物、碰撞等)
        注意:没有对泵进行必要防护,容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。
        6大气载、热气体、突变气载
        a引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效
        b.措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间
        7磁场屏蔽出现的问题
        旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:
       、、转子与定子间隙越来越。?斐伤槠?狐/div>
       、、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;
       、、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;
       、、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。
        分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
        8分子泵启动的条件:
       、、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度
       、、启动时间:
        同时启动——小系统,防前级泵油上返。
        延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵。
        十一、钛升华泵故障
        钛升华泵(Ti升华泵)的抽气速率与被抽气体的种类及其压力、钛的升华率、钛膜面积和钛膜温度等因素有关。
        在压力高时,泵的抽速决定于升华率。为获得大的抽气速率,压力越高升华率应越大,但在低压力下太大的升华率是不必要的。在10-7帕压力时的升华率只有10-3帕时的1%即可。在超高真空时常采用断续升华,如10-8帕时每隔几小时才升华1分钟。
        经彻底烘烤去气的泵,用水或液氮冷却对极限压力的影响不大,但对抽气速率的影响很大。液氮冷却的抽气速率一般比水冷却的大1~4倍。
        使用要求
        启动钛升华泵需要1~10-2帕的预真空,同时进行烘烤去气(泵每次暴露于大气压后都要进行烘烤去气)。
        烘烤去气是获得超高真空的必要条件。泵经彻底烘烤去气后,可以获得低的极限压力和缩短达到极限压力的抽气时间,还能使泵壁更清洁,沉积的钛膜不易脱落和避免放气等。一般以300~400℃温度烘烤12~24小时。
        泵启动后泵壁不宜马上冷却,应让升华的钛在其上沉积几分钟后再冷却,这样钛膜就不易脱落。
        溅射离子泵的故障分析
        1抽速或真空度下降
        抽速或真空度下降可考虑以下几种原因:
        漏气
        当真空度略有下降或者抽真空速率较慢时,首先考虑的就是漏气,这种漏气通常是微小的。微漏从表面上看,对生产没有太大的影响,只要增加抽气时间就行了,但是,忽视微漏降低生产效率不说,长期下去会对泵本身造成损害,另外产品质量也难以保证。
        微漏的位置通常在泵体的焊接处和法兰接口处。使用喷在泵体接口处就能快速准确地找到微漏的位置,加以维修。接口处上固定螺丝时,各点受力要均匀。
        2吸气剂饱和
        溅射离子泵长期使用会使吸气剂钛产生饱和,使真空质量变差。俘获型真空泵的特点就是消耗吸气剂。吸气剂与气体分子结合生成稳定物质沉积下来,所带来的必然结果就是饱和。此时可以看到溅射离子泵的阳极筒壁和阴极板表面附着大量银白色物质,这种物质就是钛与气体分子结合生成的固溶体。因此,必须定期对溅射离子泵进行再生处理。对溅射离子泵的再生处理方法有两种,一种是化学腐蚀,一种是在真空中高温烘烤。化学腐蚀的方法能使钛迅速恢复活性,但是化学方法具有一定的危险性,而且需要专业的操作,不可能经常使用。另一种可行方法就是在真空中高温烘烤,也就是烧真空。将阴极板放入真空炉中加热到一定温度,就能使钛释放出它所吸附的气体。阳极壁筒上附着的固溶体可以通过超声撕裂的方法将其除去。
        漏气也会加快吸气剂钛的饱和,检修时需要注意这一点。
        3泵体重装后处理不当
        泵体重装后处理不当也会影响泵的正常工作,甚至产生非常严重的后果。
        溅射离子泵只能在低压强下工作,这与其工作机理有关。泵体重装后,阴阳极板都处于大气压强下,此时需要前级泵将泵体内压强抽到10-2 Pa泵才能进行启动。如果泵体内压强不达到标准就启动泵,就必然加重泵的负担。气体量的增大使钛的消耗加大,抽速下降,工作寿命缩短。当压强足够高时,会在极板间产生强烈的放电,灼烧极板,致使其变形甚至报废,严重的变形还会使极间短路,如图3。此类故障为人的误操作导致,须加以预防。
        4泵体发烫
        如果泵在启动后出现泵体过热的情况要立刻停止工作,进行检修。此类故障的发生通常是由于泵内压强过高或者油气进入。
        放气
        饱和的吸气剂在一定的条件下会重新释放出气体,气体密度的增加会使空间内离子碰撞的几率增加,放电加剧,形成雪崩效应,产生辉光放
        电甚至弧光放电,终烧毁极板。如图4阴极板被击穿。有资料说,溅射离子泵短时间暴露于大气不会造成损坏,但是还是要尽量避免。
        油污染
        油进入泵体内部首先的:κ俏廴菊婵障低。大量油的进入还会损坏真空泵。油污染的来源有两个,一个来自前级机械泵,另一个是在拆泵重装时进入的。严重的油污染会缩短泵的使用寿命,甚至使泵报废。
        此类故障需要采取预防措施。首先对前级泵的滤油网要定期检修。其次在拆泵重装时,要保证在清洁的环境下进行,并带干净的手套,严禁徒手触摸泵内部的元件。
        进气
        大量进气导致放电加剧,阴阳极板受轰击发热。泵体严重漏气会导致此类故障发生。
        4、其它故障
        启动后电压指示表指针不动或者反打,停机检查电源。如果电源正常,要考虑高压绝缘陶瓷是否漏电。溅射离子泵工作时溅射出的钛有少量
        沉积在绝缘陶瓷上,时间长了,会在其表面形成一层金属膜,致使陶瓷失去绝缘能力。如图6。除去金属膜可以用砂纸打磨陶瓷表面,或者用短时间浸泡。如果还除不掉,需要更换。
        永磁铁的磁场强度下降也会导致泵的不正常工作,因此永磁铁也需要定期充磁。
        溅射离子泵是钛泵的一种,其他类型的钛泵的工作原理与其具有相似性,故障的排除和日常的保养也可参考溅射离子泵。要延长钛泵的工作寿命,提高其工作质量,保养维护尤为重要。
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